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微电子实验室

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本实验室主要开设微电子方面的实验:

电子测量

频率的数字测量技术

示波器与电路参数的测试

扫频仪在电路参数测量中的应用

半导体材料与器件测试

半导体电阻率和方块电阻的测试

利用霍尔效应测量半导体的点穴参数

利用椭偏仪测量二氧化硅的折射率和厚度

晶体缺陷的观察和测试